金融界2025年6月28日消息,国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“液态源存放装置”的专利,公开号CN120210773A,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本发明提供一种液态源存放装置,用于存放并向半导体工艺腔室供应液态源,包括存放主体、输气结构和切换结构,其中,存放主体用于存放液态源;输气结构用于与载气源连通且具有第一出气口和第二出气口,第一出气口和第二出气口位于存放主体内的不同水平位置;切换结构与输气结构配合设置,用于切换输气结构通过第一出气口和第二出气口中的至少一者向存放主体内输出载气。
天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目1075次,财产线索方面有商标信息67条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可340个。
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